ARROW Silicon-afm-probes

ARROW™
硅AFM探針

通過針尖視界的最大化可以優化地定位

Arrow™ 頂視圖

Arrow™ 前視

Arrow™ 側視圖

 

概況

  • 用於高分辨掃描成像的SPM、AFM探針
  • 適合於所有著名商業SPM和AFM
  • 單晶硅支架支撐著懸臂和針尖(單塊設計)

材料特點

  • 高度摻雜單晶硅 (電阻率為0.01 - 0.025 Ohm•cm)
  • 没有内部压力，并带完全挺直的悬臂
  • 可以用於液體或者電化學細胞的化學惰性硅

懸臂

  • 長方形懸臂具有三角形的自由端
  • 由於 Arrow™形狀，興趣區的定位很容易
  • 針尖與懸臂端中間有一致距離
  • 寬廣背面的梯形截面，為了簡單地調整激光

支架

  • 支架的規格可復制的(1.6 mm x 3.4 mm)
  • 支架的刻蝕角落避免支架和樣品中間的接觸

Tip

  • 針尖高度為 10 - 15 µm，曲率半徑典型< 10 nm (保証的 < 15 nm)
  • 探針的宏觀半錐角
    - 沿著懸臂軸為30° 至 35°
    - 從側面看為20°至25°

包裝規格

  • 裝 10、20、50個掃描探針的小包裝
  • 裝380個掃描探針（看產品種類）的整個圓片包裝

可供涂層

反光涂層

  • 在懸臂后面加30 nm厚的鋁涂層
  • 由2.5系數改善激光束的反射率

PtIr5 涂層

  • 在掃描探針兩側面上帶25 nm厚的鉻/鉑銥5層
  • 可以做電學測量

如有需要即可提供別的標准SPM、AFM探針的涂層

ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)

ArrowTM UHF

Arrow™ UHF 三維視圖

 

Arrow™ UHF

Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) 是一種帶四面體的針尖和三角形的懸臂，能用到 2.0 MHz超高頻諧振的硅SPM、AFM探針。


Arrow™ UHF懸臂長度為 35 µm，基區寬度為42 µm。懸臂厚度可以做0.6 -1.0 µm厚。 針尖高度為 3 µm。


如果需要的話，可以選擇誤差比較小的具體懸臂厚度，另加收費。

Arrow™ TL (用於特殊應用的無針尖懸臂)

Arrow™ TL的SPM、AFM探針有一種無針尖懸臂，可以用於特殊應用。
比如，這種懸臂可以用於在自由端挂球體或者別的東西，或者可以用於傳感應用、功能應用。

Arrow™系列的所有掃描探針用高度摻雜單塊硅做的，就可以消散靜電荷﹔這些探針是化學惰性的。


ArrowTM無針尖產品系列 (ArrowTM TL) 包括帶一個懸臂的或帶三角形自由端的2個或8個一排長方形懸臂的。
還可以選擇在上面帶5 nm鈦/30 nm 金涂層的Arrow™ TL。

懸臂數據 值 范圍
厚度 1.0 µm 0.5 - 2.5 µm
寬度 (長方形部分) 100 µm 95 - 105 µm
長度 500 µm 495 - 505 µm
力常數 0.03 N/m 0.04 - 0.54 N/m
諧振頻率 6 kHz 3 - 14 kHz
 

Arrow™ TL1
在硅支架上帶無針尖懸臂，一個懸臂梁

Arrow™ TL2
在單晶硅支架上帶一排無針尖懸臂，兩個懸臂梁

Arrow™ TL8
在單晶硅支架上帶一排無針尖懸臂，八個懸臂梁