ARROW™
Кремниевые АСМ зонды
оптимизированная расстановка через
максимизированную видимость иглы
Arrow™ вид сверху
Arrow™ вид спереди
Arrow™ вид со стороны
Основное
- СЗМ и АСМ зонды для отображения с очень высоким разрешением
- подходит ко всем известным промышленным СЗМ и АСМ
- Монокристаллический кремниевый чип (монолитный дизайн) поддерживает
кантилевер и иглу
Особенности материала
- высоко легированный монокристаллический кремний (удельное сопротивление
0.01 - 0.025 Ohm•cm)
- Без внутреннего напряжения и с абсолютно прямыми кантилеверами
- Химически инертный кремний для приложения в текучих средах или
электрохимических клетках
Кантилевер
- Прямоугольный кантилевер с треугольным свободным концом
- удобное расположение кончика в области интереса благодаря форме Arrow™
- стабильное расстояние между иглой и концом кантилевера
- трапециевидное поперечное сечение с широкой задней стороны для удобного
регулирования лазера
Чип
- Размеры чипа - легко воспроизводимые (1.6 mm x 3.4 mm)
- травлёные углы чипа исключают контакта между чипом и образцом
Tip
- высота иглы 10 - 15 µm, а радиус кривизны типично < 10 nm
(< 15 nm гарантировано)
- Mакроскопическиe углы полуконуса
- От 30° до 35°, если смотреть вдоль оси кантилевера,
- От 20° до 25°, если смотреть со стороны
Упаковочные размеры
- маленькие упаковки по 10, 20 или 50 сканирующих зондов
- полная подложка с 380 сканирующих зондов
Наличные покрытия
Отражательное покрытие
- 30 nm алюминиевое покрытие на задней стороне кантилевера
- увеличивает с фактором 2.5 коэффициент отражения лазерного луча
PtIr5 покрытие
- 25 nm двойное покрытие из хрома и платины иридий5 с обеих сторон сканирующего зонда
- позволяет электрические измерения
Предлагаются другие покрытия по желанию
ARROW™ Ultra High Frequency Scanning Probes (UHF)
ARROW™ Tipless Cantilevers and Cantilever Arrays (TL)
ArrowTM UHF
Arrow™ UHF трехмерный вид
Arrow™ UHF
Arrow™ UHF (Ultra High Frequency) - кремниевый СЗМ и АСМ зонд с четырёхгранным острием и треугольным кантилевером, способный к резонированию с ультравысокой частотой до 2.0 МГц.
Кантилевер Arrow™ UHF имеет длину 35 µm и ширину базы 42 µm. Возможна толщина кантилевера между 0.6 µm и 1.0 µm. Высота иглы - 3 µm.
По заявке, определенные толщины кантилевера подбираются в пределах очень узкого допуска, за дополнительную плату за выбор.
Arrow™ TL (Кантилеверы без иглы для специальных приложений)
У СЗМ и АСМ зондов Arrow™ TL есть кантилеверы без иглы для специальных приложений.
Они могут, например, использоваться для того, чтобы прикреплять сферы и другие объекты к свободному концу кантилевера, или для приложения функционализирования и чувствительных приложений.
Все сканирующие зонды серии Arrow™ сделаны из монолитного кремния, который высоко легирован, чтобы рассеивать электростатический заряд, и химически инертен.
Продукты серии ArrowTM без иглы (ArrowTM TL) предлагаются или с 1 кантилевером или с комплектом кантилеверов, состоящий из 2 или 8 прямоугольных кантилеверов с треугольным свободным концом.
Arrow™ TL предлагаются по выбору с покрытием на верхней стороны из 5 nm титана/ 30 nm золота.
| Кантилевер |
Величина |
Диапазон |
| Толщина |
1.0 µm |
0.5 - 2.5 µm |
| Ширина (прямоугольная часть) |
100 µm |
95 - 105 µm |
| Длина |
500 µm |
495 - 505 µm |
| Силовая константа |
0.03 N/m |
0.04 - 0.54 N/m |
| Резонансная частота |
6 kHz |
3 - 14 kHz |
Arrow™ TL1
Кантилевер без иглы, одна балка кантилевера на кремниевом чипе
Arrow™ TL2
Комплект кантилеверов без иглы, двое балок кантилевера на монокристаллическом кремниевом чипе
Arrow™ TL8
Комплект кантилеверов без иглы, восемь балок кантилевера на монокристаллическом кремниевом чипе