Игла SuperSharpSiliconTM (SSS)

Игла High Aspect Ratio (AR5)

Tilt compensated AR5T

Игла Diamond Coated (DT, CDT)

Игла SuperSharpSilicon™ Tip (SSS)

Для улучшенного разрешения микро-неровностей и наноструктур мы разработали передовой процесс производства иглы, приводящий к дальнейшему усовершенствованию заостренности иглы с радиусами игл всего в 2 nm. С этими АСМ иглы мы раздвинули границы технологии.

Особености иглы

Высота иглы - 10 -15 µm, а типичный радиус иглы SuperSharpSilicon™ - около 2 nm. Мы гарантируем радиус иглы меньше чем 5 nm (гарантируемый результат: 80 %).Угол полуконуса - меньше чем 10 ° в последних 200 nm острия.

Игла High Aspect Ratio (AR5 / AR5T)

Для измерения на образцах с углами боковой стены, приближающимися к 90 °, например измерения глубоких углублений или других полупроводниковых приложении, мы предлагаем два различных типа игл с высоким коэффициентом пропорциональности показанным около вертикальных боковых стен. Эти иглы имеют полную высоту 10 - 15 µm, которая позволяет измерение на сильно волнистых образцах. В последних несколько микрометрах иглы есть часть с высоким коэффициентом пропорциональности, которая является симметрической если смотреть от стороны, так же как по оси кантилевера. Радиус иглы - обычно 10 nm (меньше чем гарантировано 15 nm).

Особености иглы

Часть иглы с высоким коэффициентом пропорциональности AR5 /AR5T больше чем 2 µm и показывает формат изображения типично 7:1 (минимальный формат изображения 5:1 гарантировано).Следовательно половина угла конуса части с высоким коэффициентом пропорциональности – типично меньше чем 5 °. Кроме того, часть с высоким коэффициентом пропорциональности варианта AR5T наклонена на 13 ° относительно оси центра кончика, позволяющее абсолютно симметрическое отображение.

Игла Diamond Coated (DT), игла Conductive Diamond Coated (CDT)

Для СЗМ и АСМ приложений, которые требуют твердого контакта между зондом и образцом мы рекомендуем наш Diamond Coated Tip (DT). Некоторые типичные приложения – измерение силы трения, измерение эластичных свойств образцов, так же как и измерение изнашивания или наноструктурирования. Conductive Diamond Coated Tip (CDT) дополнительно предлагает проводящее, непассивированное покрытие.

Особенности иглы и покрытия

Настоящее поликристаллическое алмазное покрытие на стороне иглы кантилевера с непревзойденной твердостью алмаза.Высота иглы - 10 - 15 µm, а толщина алмазного слоя - приблизительно 100 nm. Макроскопический радиус острия находится в диапазоне 100 - 200 nm,но игла часто показывает нано- неровности в режиме 10 nm.В случае CDT проводимость находится в диапазоне 0.003 - 0.005 Ohm•cm.